在高真空镀膜设备系统中，特别是超高真空镀膜系统工艺中，将气体从构成真空材料中放出并排除掉是决定镀膜效果的关键因素。在所有超高真空条件下，器壁表面实际上并未与环境气体处于平衡状态，而是覆盖着一层可凝性气体，其含量大大超过平衡状态下的含量，所以在超高真空区域，器壁的放气率只取决于抽气时闻和表面的经历，而与系统的总压力无关。通常不锈钢超高真空系统的极限烘烤湿度为440LC左右，但是某些试验研究表明：在系统的除气过程中，烘烤温度不需要特别严格规定，而系统各处温度的均匀性要比烘烤温度重要的多。最好的方法是尽可能均匀地烘烤整个系统，而烘烤温度在150～250℃比较合适。均匀烘烤40 min的小型真空镀膜机中保留着不同比例的未烘烤部分对系统极限压所产生的影响(烘烤温度为300。C)。保留的未烘烤的表面积虽然仅占整个系统的百分之几，但对系统的最终压力的影响却很大。如果在真空系统内部的某种材料不能承受1 5 O℃的温度或者某些重要部件的热膨胀能引起麻烦时，就应选择较低的烘烤温度，但一定要对系统所有的部件都要尽可能地均匀烘烤，而且烘烤所持续的时间应加长。如果系统表面上附有高结合能的物质，则需要较高的烘烤温度才能有比较理想的放气率。当无法对系统整体进行均匀烘烤，例如，当真空室内装有热容 量大的法兰或有绝热的装置时，对它们进行均匀烘烤十分困难，则需要选择较高的烘烤温度。出自汇成真空镀膜设备http://www.suichenggd.cn/
2013-7-30